tencor p-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2d和3d測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。 tencor p-170具有先進(jìn)的圖案識別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和先進(jìn)的平臺,這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵要求。
更新時間:2024-10-18