這是一種波長(zhǎng)色散x射線熒光光譜儀(wd-xrf),可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 xyθz驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)(利方法)可以精確分析各種金屬膜,避免衍射射線的影響。 4kw大功率x射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析,例如bpsg薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 還支持c-to-c運(yùn)輸機(jī)器人(可選)。 它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)(全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能)。
更新時(shí)間:2024-10-09