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LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀

型號(hào):LGA-4100 訪問量:5076發(fā)布時(shí)間:2019/4/29 單位:聚光科技(杭州)股份有限公司

1
結(jié)構(gòu)組成

1) 發(fā)射單元

LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀的發(fā)射單元由人機(jī)界面、激光器驅(qū)動(dòng)模塊、中央處理模塊、半導(dǎo)體激光器和精密光學(xué)元件等器件組成,主要實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光發(fā)射、光譜數(shù)據(jù)處理和人機(jī)交互等功能。

2) 接收單元

LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀的接收單元由光電傳感器、信號(hào)處理模塊、電源模塊和精密光學(xué)元件等部分組成,接收單元的主要功能是接收傳感信號(hào),并將光譜吸收信號(hào)傳輸至發(fā)射單元進(jìn)行處理。

3) 吹掃單元

在較為惡劣的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量的場(chǎng)合里,為了能夠保證LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀能夠長期連續(xù)運(yùn)行,LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀需用吹掃氣體對(duì)發(fā)射和接收單元上的光學(xué)視窗進(jìn)行吹掃,避免測(cè)量環(huán)境中粉塵或其它污染物對(duì)視窗造成嚴(yán)重污染。吹掃單元由過濾器、減壓閥和穩(wěn)流裝置等組成,可為LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀的吹掃氣體和正壓氣體提供穩(wěn)定流量的吹掃氣源。

4) 安裝法蘭和維護(hù)切斷閥

發(fā)射、接收單元通過連接鎖箍與連接單元(或標(biāo)定單元)連接,連接單元由吹掃接口、光路調(diào)整機(jī)構(gòu)、維護(hù)切斷閥門和安裝法蘭等組成。在對(duì)發(fā)射單元進(jìn)行清潔或其他維護(hù)時(shí),維護(hù)切斷閥門可起到隔絕過程管道和操作環(huán)境,防止危險(xiǎn)氣體泄漏的作用。

5) 正壓單元

防爆型的LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀的接收單元上內(nèi)嵌了正壓控制模塊,該模塊采用隔爆設(shè)計(jì),內(nèi)置壓力傳感器、信號(hào)處理、電源控制和信息顯示等模塊,可對(duì)發(fā)射和接收單元內(nèi)部的正壓防爆氣體的壓力情況進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和控制,確保LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀在危險(xiǎn)場(chǎng)合的安全使用。

 
1 LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀結(jié)構(gòu)

2
測(cè)量原理

 半導(dǎo)體激光吸收光譜(DLAS)技術(shù)利用激光能量被氣體分子“選頻”吸收形成吸收光譜的原理來測(cè)量氣體濃度。由半導(dǎo)體激光器發(fā)射出定波長的激光束(僅能被被測(cè)氣體吸收),穿過被測(cè)氣體時(shí),激光強(qiáng)度的衰減與被測(cè)氣體的濃度成定的函數(shù)關(guān)系,因此,通過測(cè)量激光強(qiáng)度衰減信息就可以分析獲得被測(cè)氣體的濃度。

LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀由激光發(fā)射模塊發(fā)出的激光束穿過被測(cè)煙道(或管道),被安裝在直徑相對(duì)方向上的光電傳感模塊中的探測(cè)器接收,分析控制模塊對(duì)獲得的測(cè)量信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和分析,得到被測(cè)氣體濃度。在掃描激光波長時(shí),由光電傳感模塊探測(cè)到的激光透過率將發(fā)生變化,且此變化僅僅是來自于激光器與光電傳感模塊之間光通道內(nèi)被測(cè)氣體分子對(duì)激光強(qiáng)度的衰減。光強(qiáng)度的衰減與探測(cè)光程之間的被測(cè)氣體含量成正比。因此,通過測(cè)量激光強(qiáng)度衰減可以分析獲得被測(cè)氣體的濃度。



圖2 基于半導(dǎo)體激光吸收光譜(DLAS)測(cè)量技術(shù)系統(tǒng)組成示意圖

3
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

 GA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀由于采用了半導(dǎo)體激光吸收光譜(DLAS)技術(shù),從根本上解決了采樣預(yù)處理帶來諸如響應(yīng)滯后、維護(hù)頻繁、易堵易漏、易損件多和運(yùn)行費(fèi)用等各種問題,并具有如下點(diǎn):

原位測(cè)量,檢測(cè)靈敏度,響應(yīng)速度快;

體化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,可靠性;

模塊化設(shè)計(jì),可現(xiàn)場(chǎng)更換所有功能模塊;

智能化程度,操作、維護(hù)方便。

1) 單線光譜技術(shù)

單線光譜測(cè)量技術(shù)利用激光的光譜比較窄、遠(yuǎn)小于被測(cè)氣體的吸收譜線的性,選擇某位于定波長的吸收光譜線,使得在所選吸收譜線波長附近無測(cè)量環(huán)境中其它氣體組分的吸收譜線,從而避免了這些背景氣體組分對(duì)該被測(cè)氣體的交叉吸收干涉,圖3“單線光譜”測(cè)量原理圖。


3 單線光譜測(cè)量原理圖


2) 激光頻率掃描技術(shù)

LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀通過調(diào)制激光頻率使之周期性地掃描過被測(cè)氣體吸收譜線,激光頻率的掃描范圍被設(shè)置成大于被測(cè)氣體吸收譜線的寬度,從而在次頻率掃描范圍中包含有不被氣體吸收譜線衰減的圖1.1中的區(qū)和被氣體吸收譜線衰減的區(qū)。從區(qū)得到的測(cè)量信號(hào)可以獲得粉塵和視窗的透光率Td,從區(qū)得到的測(cè)量信號(hào)可以獲得粉塵和視窗以及被測(cè)氣體的總透光率Tgd=Td*Tg。因此,激光現(xiàn)場(chǎng)在線氣體分析系統(tǒng)通過在個(gè)激光頻率掃描周期內(nèi)對(duì)兩區(qū)的同時(shí)測(cè)量可以準(zhǔn)確獲得被測(cè)氣體的透光Tg=Tgd/Td,從而自動(dòng)修正粉塵和視窗污染產(chǎn)生的光強(qiáng)衰減對(duì)氣體測(cè)量濃度的影響。

3) 譜線展寬自動(dòng)修正技術(shù)

在氣體溫度和壓力發(fā)生變化時(shí),被測(cè)氣體譜線的展寬及度會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化,從而影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。通過輸入(4-20)mA方式的溫度和壓力信號(hào),LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀能自動(dòng)修正溫度和壓力變化對(duì)氣體濃度測(cè)量的影響,從而保證了測(cè)量數(shù)據(jù)的精確性。

4
儀表使用

 1) 供電原理

LGA-4100分析儀的供電如下圖4所示,24V DC電源首先被接入到隔爆的正壓單元(并沒有直接給正壓腔體內(nèi)的電路),正壓單元內(nèi)的控制電路開始檢測(cè)正壓腔體內(nèi)的壓力傳感器傳來的壓力信號(hào),并顯示在壓力指示條上,同時(shí)根據(jù)該壓力來判斷是否給正壓腔內(nèi)電路供電。

                           圖4 LGA-4100分析儀供電原理圖

正壓單元面板主要由電源指示燈、狀態(tài)指示燈和壓力指示條組成,其中:

壓力指示條:用于指示正壓壓力數(shù)值,指示條共10格,代表0Pa-1000Pa的差壓范圍,每格代表壓力100Pa

電源Power)指示燈:紅色LED指示燈,用于指示正壓控制模塊的電源情況。紅燈亮表示正壓控制模塊已經(jīng)正常上電。

狀態(tài)(State)指示燈:能顯示紅、綠、黃的LED色指示燈,其中:

a) 指示燈不亮:發(fā)射和接收單元內(nèi)部壓力處于低壓狀態(tài)(小于300Pa),正壓控制單元不接通發(fā)射和接收單元的供電電源;

b) 指示燈呈黃色:發(fā)射和接收單元內(nèi)部壓力已從低壓狀態(tài)進(jìn)入正常工作狀態(tài)(500Pa-1000Pa),正壓控制單元正處于換氣延時(shí)(15分鐘)等待中。此時(shí),正壓控制單元仍不接通發(fā)射和接收單元的供電電源;

c) 指示燈呈綠色:發(fā)射和接收單元內(nèi)部壓力已經(jīng)達(dá)到正常工作狀態(tài),并完成換氣,此時(shí)正壓控制單元接通發(fā)射和接收單元的供電電源,系統(tǒng)處于正常工作狀態(tài)。

d) 指示燈呈紅色:發(fā)射和接收單元壓力處于警告工作狀態(tài),此時(shí)壓力可能可能處于欠壓(300Pa-500Pa)或者過壓(>1000Pa)狀態(tài),此時(shí)正壓控制單元仍會(huì)接通發(fā)射和接收單元的供電電源。

2) 正壓壓力的調(diào)節(jié)

由儀表的供電原理可知,儀表要正常上電工作,正壓壓力必須大于等于500pa,并保持15分鐘以上,那么儀表的正壓是怎樣實(shí)現(xiàn)和調(diào)節(jié)的呢?


圖5 儀表吹掃和正壓氣路圖

如圖5所示,正壓氣體由吹掃單元接入,經(jīng)過濾、減壓、流量控制,首先被送到發(fā)射單元;接著被引到接收單元,再由接收單元的阻燃器排空,而壓力傳感器就安裝在接收單元內(nèi)腔。綜上,在整個(gè)正壓氣路氣密性良好的基礎(chǔ)上,只要調(diào)節(jié)進(jìn)氣減壓閥的壓力即可調(diào)節(jié)正壓壓力。

3) 開機(jī)步驟

了解了儀表的供電原理和正壓調(diào)節(jié)的方法,儀表的上電應(yīng)該就沒有問題了,但仍有些細(xì)節(jié)需要注意。

確認(rèn)儀表的電源、信號(hào)輸入/輸出、吹掃及正壓氣源連接正確。

卸開進(jìn)吹掃單元的氣源總管,打開總管球閥,進(jìn)行氣源管道吹掃,清除管道內(nèi)的鐵銹等雜質(zhì)。

連接進(jìn)吹掃箱的氣源總管,調(diào)節(jié)減壓閥調(diào)節(jié)旋鈕。使吹掃氣體減壓閥壓力表顯示為0.4Mpa左右。

打開焊接法蘭根部的維護(hù)切斷閥。

接通系統(tǒng)電源后,電源狀態(tài)指示燈(POWER)點(diǎn)亮紅色,證明正壓單元已上電成功。

觀察接收單元的正壓壓力指示條,微調(diào)減壓閥調(diào)節(jié)旋鈕,使正壓壓力指示條保持5-9個(gè)點(diǎn)亮。

  l 根據(jù)防爆規(guī)范要求,系統(tǒng)在達(dá)到正壓要求延時(shí)換氣15分鐘之后,發(fā)射和接收單元內(nèi)部才正式通電運(yùn)行,此時(shí)正壓控制模塊的電源指示燈變?yōu)榫G色,發(fā)射單元LCD液晶屏界面顯示出上電自檢信息,儀表上電成功。

5
日常維護(hù)

 分析儀表的測(cè)量數(shù)據(jù)是工業(yè)生產(chǎn)中參與聯(lián)鎖控制的重要生產(chǎn)參數(shù),分析儀表的日常巡檢和維護(hù)保養(yǎng)是十分重要的工作,可以預(yù)防儀表故障,保證正常生產(chǎn),延長儀表使用壽命。

LGA-4100分析儀日常的巡檢內(nèi)容有下幾項(xiàng):

1)、檢查儀表測(cè)量值是否正常

儀表的檢測(cè)數(shù)據(jù)般都有規(guī)律或者經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù),當(dāng)工藝沒有顯著變化的情況下,儀表的測(cè)量值出現(xiàn)有別于經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)的異常,我們通常情況下都會(huì)同時(shí)檢查工藝和儀表。

2)、檢查儀表透過率是否在10%以上(報(bào)警59/60

3)、檢查吹掃氣體壓力和流量,檢查正壓壓力是否正常

4)、檢查報(bào)警碼顯示

LGA-4100分析儀在工作異常時(shí),會(huì)自動(dòng)在液晶屏上顯示,報(bào)警碼后有相應(yīng)的報(bào)警說明

6
儀表標(biāo)定

 LGA-4100分析儀的標(biāo)定周期為2/年,般情況下不需標(biāo)定。在客戶標(biāo)定前請(qǐng)仔細(xì)閱讀下列條款。

標(biāo)定注意事項(xiàng):

Ø 如只是日常檢查或懷疑測(cè)量不準(zhǔn),建議通入標(biāo)氣比對(duì),而不用進(jìn)行標(biāo)定操作。

Ø 如儀器輸出是聯(lián)鎖控制的,在標(biāo)定前應(yīng)先斷開聯(lián)鎖,標(biāo)定完成后再接回聯(lián)鎖。

Ø 在標(biāo)定前為了防止誤操作,可以使用標(biāo)定菜單中的備份功能;若在標(biāo)定過程中出現(xiàn)意外情況可以使用標(biāo)定菜單中的恢復(fù)功能;

Ø 在儀器面板液晶顯示屏上有錯(cuò)誤或警告報(bào)警信息出現(xiàn)時(shí),不能實(shí)施標(biāo)定工作。

Ø 標(biāo)準(zhǔn)氣體容器到標(biāo)定管進(jìn)氣口之間應(yīng)使用盡量短的連接管線。

Ø 標(biāo)定時(shí)人要站在上風(fēng)處,尾氣排放在通風(fēng),偏僻的地方。



圖6  LGA-4100激光氣體分析儀標(biāo)定流程

以下僅為LGA-4100分析儀的按鍵操作,必須在標(biāo)定流程下進(jìn)行

1) 標(biāo)定零點(diǎn)的步驟

按上圖所示連接氣管,通入零點(diǎn)氣體,(在連接標(biāo)定氣阻流器的情況下),將減壓閥出口壓力表調(diào)節(jié)至3kg/cm2,通氣持續(xù)5分鐘。

“氣體濃度”顯示值穩(wěn)定后。注:假如顯示值和標(biāo)準(zhǔn)氣的值相差很大的情況,客戶必須重新檢查管路和設(shè)置的正確性。

SET”鍵,進(jìn)入密碼設(shè)定,輸入密碼“1111”。

然后通過主設(shè)置界面,通過“<”或“>鍵,使光標(biāo)移到“離線標(biāo)定”,按“SET”鍵確認(rèn)“離線標(biāo)定”。

“離線標(biāo)定”菜單下通過“<”或“>鍵選擇“調(diào)整零點(diǎn)”。

2) 標(biāo)定滿度的步驟

在【離線標(biāo)定界面】更改以下的參數(shù)

Ø “<”或“>鍵使光標(biāo)移到“標(biāo)定光程”設(shè)置,氣路的連接如上圖的情況下,此時(shí)“標(biāo)定光程”就是設(shè)標(biāo)定管的長度,如沒有殊說明,長度0.4616M1.1216M

Ø 然后按“<”或“>鍵使光標(biāo)移至“標(biāo)定溫度”,然后按“SET”鍵選擇“輸入方式”進(jìn)行設(shè)定即可,標(biāo)定溫度的設(shè)定就是標(biāo)定管所在位置的溫度(即環(huán)境溫度)。

注意因?yàn)橥饨绛h(huán)境溫度經(jīng)常會(huì)變化,所以必須重新設(shè)置。

 

Ø 然后按“<”或“>鍵使光標(biāo)移至“標(biāo)定壓力”,然后“SET”鍵選擇“輸入方式”進(jìn)行設(shè)定即可,

Ø 標(biāo)定壓力的設(shè)定就是標(biāo)定管所在位置的壓力(即環(huán)境壓力:基本為個(gè)大氣壓力0.1Mpa

之后按“<”或“>鍵把光標(biāo)移到“標(biāo)定預(yù)覽”,按“SET”鍵。

然后設(shè)定“標(biāo)定濃度”,按“SET”鍵進(jìn)行設(shè)定,設(shè)定的原則:就是根據(jù)標(biāo)氣瓶上小標(biāo)簽上的標(biāo)注的濃度值的大小。

按上圖通入標(biāo)準(zhǔn)氣體,(在連接標(biāo)定氣阻流器的情況下),將減壓閥出口壓力表調(diào)節(jié)至3kg/cm2,通氣5分鐘。

“氣體濃度”顯示值穩(wěn)定后。注:假如顯示值和標(biāo)準(zhǔn)氣的值相差很大的情況,客戶必須重新檢查管路和設(shè)置的正確性。

然后通過“<”或“>”鍵使光標(biāo)移至“確認(rèn)標(biāo)定”。按“SET”鍵,儀器開始標(biāo)定,顯示標(biāo)定進(jìn)度畫面。


7
故障處理

 測(cè)量值偏低或偏

當(dāng)LGA-4100分析儀的測(cè)量值與手工分析值或經(jīng)驗(yàn)值偏或偏低時(shí),我們?cè)撊绾翁幚砟兀肯聛碇饕蛯?dǎo)致測(cè)量值異常的幾個(gè)常見問題進(jìn)行分析,并介紹相應(yīng)的處理方法。


圖7 測(cè)量值異常處理流程

1) 判斷手工分析和經(jīng)驗(yàn)值的準(zhǔn)確性。

通常在儀表的測(cè)量值大于或小于手工分析值或經(jīng)驗(yàn)值時(shí),我們就認(rèn)為LGA-4100分析儀異常了。但是以手工分析值作為LGA-4100分析儀正常與否的標(biāo)準(zhǔn)是不科學(xué)的。

例如,傳統(tǒng)氣體分析儀器奧氏氣體分析儀,常用于CO2O2COH2、烴類等的含量測(cè)定。其工作原理是利用不同的溶液來相繼吸收氣體試樣中的不同組分

具體來說:40%的氫氧化鈉吸收試樣中的二氧化碳;用焦沒食子酸鉀溶液吸收試樣中的氧氣;用氨性氯化亞銅溶液來吸收試樣中的氧化碳。然后根據(jù)吸收前后試樣體積的變化來計(jì)算各組分的含量。CH4H2用爆炸燃燒法測(cè)定,剩余氣體為N2

奧氏分析儀的絕對(duì)誤差般為±0.2%,因?yàn)槠洳僮鲝?fù)雜,分析周期長,分析人員的操作技能和態(tài)度對(duì)分析的精確度有很大影響。所以,我們認(rèn)為奧氏手工分析的結(jié)果可以作為定性結(jié)論,即可以以其測(cè)量值作趨勢(shì)圖與LGA-4100分析儀的分析結(jié)果趨勢(shì)比較。

經(jīng)驗(yàn)值般都不會(huì)存在問題,但套用經(jīng)驗(yàn)值時(shí)定要確認(rèn)工藝情況是否和通常情況樣。

2) 工況問題

工藝發(fā)生改變后,往往會(huì)對(duì)被測(cè)組分的含量造成影響,例如,爐煉鐵噴煤系統(tǒng)中的原料煤由無煙煤更換為煙煤,煤粉倉中的CO含量定會(huì)增加。燃?xì)忮仩t減小了空氣鼓風(fēng)量時(shí),氣廢氣管道中的可燃?xì)夂靠隙〞?huì)增加。故儀表測(cè)量值異常時(shí),我們首先需了解工藝是否有異常,二者是否有關(guān)聯(lián)。

3) 儀表參數(shù)檢查

在本手冊(cè)2.2節(jié)中,詳細(xì)的介紹了參數(shù)對(duì)儀表測(cè)量值的影響。儀表參數(shù)其可能被誤操作,其二在儀表采用自動(dòng)溫度、壓力補(bǔ)償時(shí),溫度和壓力信號(hào)異常時(shí),儀表的測(cè)量值也會(huì)出現(xiàn)偏差。故測(cè)量值出現(xiàn)異常時(shí),確認(rèn)儀表的參數(shù)的正確也是必選的工作。

4) 吹掃流量檢查

本手冊(cè)2.52.6節(jié)中可知,當(dāng)吹掃流量低于設(shè)定值時(shí),吹掃不充分會(huì)導(dǎo)致實(shí)際測(cè)量光程大于設(shè)定的測(cè)量光程,導(dǎo)致測(cè)量誤差。吹掃流量過大時(shí)同樣會(huì)導(dǎo)致測(cè)量錯(cuò)誤。

5) 標(biāo)準(zhǔn)氣驗(yàn)證LGA-4100分析儀是否正常測(cè)量

LGA-4100分析儀測(cè)量功能是否正常,有效的方法就是標(biāo)準(zhǔn)氣驗(yàn)證。即將接收和發(fā)射單元安裝到標(biāo)定管上,通入標(biāo)準(zhǔn)氣體,并設(shè)定相應(yīng)的參數(shù),看儀表是否能準(zhǔn)確的測(cè)量標(biāo)氣濃度。具體操作方法和流程可參見本手冊(cè)3.2節(jié)。

6) 檢測(cè)吹掃氣體中是否含有被測(cè)組分

測(cè)量的方法和檢測(cè)標(biāo)氣濃度的方法相同,吹掃氣中含有被測(cè)組分對(duì)儀表測(cè)量的影響和處理方法參見本手冊(cè)2.6節(jié)。

7) 如以上方法均不能解決,請(qǐng)聯(lián)系聚光客戶服務(wù)部。

儀表透過率過低


圖8 透過率問題處理流程

1) 檢查有無異常工況

工況的異常將會(huì)導(dǎo)致透過率降低,如管道內(nèi)氣體未經(jīng)原定處理系統(tǒng)凈化(初冷器、除塵器等);進(jìn)入其他非常組份(水氣、粉塵)標(biāo)。可通過工藝協(xié)調(diào)調(diào)查清楚。

2) 檢查和調(diào)整吹掃氣體流量及壓力

3) 檢查和清潔光學(xué)視窗

依次關(guān)掉儀器電源、根部球閥、吹掃減壓閥;

松開鎖箍,拆下發(fā)射和接收單元,取下玻環(huán),清潔玻環(huán)上的光學(xué)玻片;

重新裝回玻環(huán)和發(fā)射、接收單元,旋緊鎖箍; 

打開根部球閥,開啟減壓閥,將壓力調(diào)節(jié)至(4-6)kg/cm2
4) 裝上標(biāo)定管通

正常情況下儀器安裝在標(biāo)定管上時(shí),儀器的透過率大于90%,可以據(jù)此來判斷儀器本身是否存在問題。

5) 檢查清理吹掃內(nèi)棒

在吹掃氣體停止吹掃時(shí),過程氣體進(jìn)入吹掃內(nèi)棒,形成死氣,且球閥部位的氣體溫度降低,其中的些灰塵、雜質(zhì)易沉積在吹掃內(nèi)棒中,阻擋激光通路。

我司門設(shè)計(jì)了可帶氣操作的除污工裝使用方法如下:

注意維護(hù)時(shí)需至少兩人配合協(xié)調(diào)工作。

a) 組裝除污工裝(除污桿表面涂上少許硅脂/黃油,保證密封和潤滑);

b) 拔下除污手柄并從該端套上鎖箍;

c) 把除污組裝件從鋼刷那端插入發(fā)射單元儀器法蘭,注意墊環(huán)上有銷釘孔要和儀器法蘭上的銷釘對(duì)應(yīng)起來(墊環(huán)安裝與玻環(huán)相似)之后旋緊鎖箍;

d) 打開吹掃流量控制針閥,打開探頭球閥,裝上除污手柄,握住除污手柄順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)并慢慢往前推進(jìn);推進(jìn)至大約鋼刷過吹掃內(nèi)棒頂頭再順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)慢慢往后拉,這樣反復(fù)23次;

e) 把除污棒拉回至剛開始安裝位置,關(guān)閉探頭球閥,檢查系統(tǒng)氣密性后再關(guān)閉吹掃流量控制針閥(氣密性完好表現(xiàn)為吹掃轉(zhuǎn)子位置為流量計(jì)下端)。松開鎖箍,拆下墊環(huán);

f) 換接收單元除污,方法步驟如上。

 

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  • LGA-4100半導(dǎo)體激光氣體分析儀

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